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Introduction to Microsystem Design
This book systematically describes the design options for micro systems as well as the equations needed for calculating the behavior of their basic elements. The fundamental equations needed to calculate the effects and forces that are important in micro systems are also provided. Readers do not require previous knowledge of fabrication processes. This second edition of the volume is a thoroughly revised and extended update. The target audience primarily comprises experts in the field of micro systems and the book is also suitable for graduate engineering students. For quick reference, equations are presented in tables that can be found in an index at the end of the book.
Hot Embossing
The second edition of Hot Embossing: Theory of Microreplication will present the current state of the art in microreplication with a focus on hot embossing, nanoimprint, thermoforming, and roll-to-roll replication. Polymer processing, the theory of polymers and the processing of polymers are discussed in detail. Aspects of process simulation and the corresponding material models are also covered. The book contains in-depth analysis of processing processes and replication techniques including mold fabrication. Monitoring, data analysis and reliability of molded parts is also discussed. In the Second Edition new processes are included, including the process of micro- and nanothermoforming to g...
Werkzeug- und Prozessentwicklung des Roll-to-Roll-Hochdurchsatzverfahrens zur kontinuierlichen, großflächigen Mikrostrukturierung
Die vorliegende Arbeit beschreibt den Aufbau einer Roll-to-Roll (R2R)-Anlage und die Entwicklung eines spezifischen Mikrostrukturierungsprozesses für eine Vielzahl verschiedener Materialien von Hochleistungspolymeren über niedrigschmelzende Metalle bis hin zu Glas-Nanokompositmaterial und thermoplastischen Vliesstoffen einschließlich einer auf Lithographie und Galvanik basierenden teilautomatisierten Werkzeugfertigung für die nahtlose R2R-Mikroreplikation. - This work describes the set-up of a roll-to-roll (R2R) system and the development of a specific microstructuring process for a variety of different materials ranging from high-performance polymers and low-melting-point metals to glass nanocomposites and thermoplastic nonwovens, including a lithography and electroplating-based semi-automated tooling production for seamless R2R microreplication.
Entwicklung einer Plattform zur individuellen Ansteuerung von Mikroventilen und Aktoren auf der Grundlage eines Phasenüberganges zum Einsatz in der Mikrofluidik
Im Rahmen dieser Arbeit wurde eine Plattform zur individuellen Ansteuerung einer Vielzahl thermisch aktivierter Mikroventile und aktoren, auf Grundlage eines Phasenüberganges, zum Einsatz in der Mikrofluidik entwickelt. Ventile dienen dazu den Fluidstrom in komplexen mikrofluidischen Systemen, aus Einsatzgebieten wie der Biologie, Chemie oder Biotechnologie, zu manipulieren. Mit steigender Komplexität der Mikrosysteme steigt auch die Anzahl der benötigten, individuell steuerbaren Mikroventile.
Heißprägen von Verbundfolien für mikrofluidische Anwendungen
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Erweiterung des Heißprägeprozesses, mit dem Ziel neue Produkte für mikrofluidische Anwendungen zu ermöglichen. Bestehende Einschränkungen des Heißprägeprozesses werden mit Hilfe der Mehrkomponentenreplikation, der Durchlocherzeugung, der Oberflächenmodifikation und der Automatisierung überwunden und ermöglichen es, die Strukturqualität des Heißprägeprozesses in weiteren Bereichen der Mikroreplikation einsetzen zu können.
